一、技術定義與基本特征
干式潔凈室是指不依賴傳統(tǒng)加濕系統(tǒng),通過精確控制露點溫度維持低濕度環(huán)境的潔凈空間。其核心特征為在維持潔凈度等級的同時,將環(huán)境相對濕度控制在極低水平(通常低于5%RH)。
二、核心技術要點
1、濕度控制體系
露點溫度控制:采用兩級或三級深度除濕方案,初級采用轉輪除濕機,將新風露點溫度降至-20℃以下;次級采用化學轉輪或冷凍除濕組合,實現露點溫度-40℃至-60℃的深度除濕。
動態(tài)調節(jié)精度:配備高精度濕度傳感器網絡,控制精度達到±1.5%RH,露點溫度控制精度±0.5℃。
防結露設計:墻體采用雙層保溫結構,保溫層厚度不低于80mm,所有穿墻部件均做氣密處理,防止冷橋產生。
2、氣流組織設計
垂直單向流:頂部FFU覆蓋率不低于80%,風速控制范圍0.35-0.45m/s,均勻度偏差不超過±15%。
氣流壓差梯度:潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)壓差維持15Pa以上,不同潔凈等級區(qū)域間壓差不低于10Pa。
回風系統(tǒng):采用地面格柵回風,開孔率不低于50%,確保氣流組織穩(wěn)定。
3、材料與結構特性
防靜電處理:所有內表面材料表面電阻值控制在10^6-10^9Ω,防止低濕環(huán)境下靜電積聚。
密封性能:圍護結構泄漏率不超過0.1%/h,門窗氣密等級達到GB/T 7106標準6級以上。
耐低溫材料:在露點溫度低于-30℃工況下,所有密封材料保持彈性,不發(fā)生脆化。
4、能源回收系統(tǒng)
熱回收裝置:采用全熱交換器,顯熱回收效率不低于75%,全熱回收效率不低于60%。
變頻控制:風機、水泵等動力設備均采用變頻驅動,根據實際負荷自動調節(jié)轉速。
能耗指標:單位面積年耗電量不超過280kWh/m2,較傳統(tǒng)潔凈室節(jié)能25%以上。
三、典型應用場景
1、鋰電池制造
電極涂布工序:環(huán)境要求濕度≤1%RH,溫度23±2℃,潔凈度ISO7級。
電芯注液工序:環(huán)境要求濕度≤0.5%RH,溫度25±1℃,潔凈度ISO6級。
電池封裝工序:環(huán)境要求濕度≤2%RH,溫度23±2℃,潔凈度ISO7級。
2、微電子封裝
晶圓級封裝:環(huán)境要求濕度≤3%RH,溫度22±0.5℃,潔凈度ISO5級。
倒裝芯片鍵合:環(huán)境要求濕度≤2%RH,溫度23±0.5℃,潔凈度ISO4級。
MEMS器件封裝:環(huán)境要求濕度≤5%RH,溫度25±1℃,潔凈度ISO6級。
3、特種材料生產
OLED材料蒸鍍:環(huán)境要求濕度≤1%RH,溫度23±1℃,潔凈度ISO5級。
納米粉體制備:環(huán)境要求濕度≤3%RH,溫度25±2℃,潔凈度ISO6級。
光學薄膜涂布:環(huán)境要求濕度≤2%RH,溫度22±1℃,潔凈度ISO5級。
4、精密儀器裝配
激光器組裝:環(huán)境要求濕度≤5%RH,溫度20±1℃,潔凈度ISO6級。
陀螺儀調試:環(huán)境要求濕度≤3%RH,溫度23±0.5℃,潔凈度ISO5級。
高精度傳感器校準:環(huán)境要求濕度≤2%RH,溫度25±0.2℃,潔凈度ISO4級。
四、運行維護要點
建立完整的濕度監(jiān)控網絡,傳感器布點密度不低于1個/50m2;制定嚴格的物料傳遞流程,所有進入物品需經風淋或傳遞窗處理;定期進行圍護結構氣密性檢測,確保系統(tǒng)長期穩(wěn)定運行。
干式潔凈室通過精確的濕度控制與完善的氣流組織設計,為對水分敏感的特殊工藝提供了可靠的環(huán)境保障,在高端制造領域具有不可替代的重要地位。

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